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量程范围
0.5SCCM~5000SLPM -

准确度
±0.5~1.0%Rd -

工作压力
5kPaA~2MPaA可选 -

介质温度
-20℃~60℃
产品规格
| 系列 | S100 | S200 | S300 | S400 | S450 |
| 量程范围 | 20SCCM~1000SLPM | 5SCCM~1000SLPM | 0.5SCCM~5000SLPM | 2SCCM~2000SLPM | 2SCCM~2000SLPM |
准确度 | ±1.0%F.S. (2%~100% F.S.) | ±1.0%Rd(30%~±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%~30%F.S.) | ±1.0%Rd(20%~100%F.S. | ±1.0%Rd(10%~100%F.S.) | ±0.5%Rd(20%~100%F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | ±0.2%Rd | ±0.1%Rd | ||
压力漂移 | Zero:≤±0.1%F.S./100kPa; | Zero:≤±0.05%F.S./100kPa; Span:≤±0.05%F.S./100kPa(基准压力100kPaA); | |||
温度漂移 | Zero:≤±0.05%F.S./℃; | ≤±0.02%F.S./℃(基准温度25℃) | |||
| 零点漂移 | ±0.2%F.S./年 | ±0.1%F.S./年 | |||
| 工作范围 | 2%~100%F.S. | 1%~100%F.S. | 0.5%~100%F.S. | ||
| 响应时间 | ≤100ms | ||||
| 启动预热时间 | ≤1s | ||||
| 介质温度范围 | 0℃~50℃ | -20℃~60℃ | |||
| 环境温度范围 | -20℃~50℃ | ||||
| 最小工作压差 | 10kPa(≤5SLPM);6kPa(10SLPM);8kPa(20~50SLPM);10kPa(100SLPM);15kPa(200SLPM); 19kPa(500SLPM);23kPa(1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM) | ||||
| 耐压 | 1.5 MPaA | ||||
| 最大工作压力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/s He | ||||
| 供电电压 | 24VDC(±20%) | ||||
| 安装方式 | 无指定(任意角度) | ||||
| 气路接口 | G螺纹、VCR、卡套 | ||||
| 接气部材质 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材质 | 橡胶圈密封:FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4~20mA 、0~5V、0~10V | ||||
| *此为标准款参数,可定制高压型、高温型、低温型、宽量程型、快速响应型、抗吸附型等各种定制化方案,请联系我们 400-881-5356 | |||||
应用场景
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其他定制产品可咨询易度

售前售后工程师:400-881-5356




