2025-11
05质量流量计/质量流量控制器常用术语有哪些，它们各代表什么含义？
体积流量：也叫工况流量，即单位时间内实时温度和压力下流体流过管道横截面的体积。小流量的代表单位一般为：ml/min和L/min。
标况流量：通过温度、压力补偿后得到的体积流量。标况一般定义（1）压力：1个大气压（101.325KPa）（2）温度：0℃/15℃/20℃/25℃，具体温度定义可
自选。易度流量控制器默认(25℃,101.325KPa)，单位一般为：SCCM和SLPM 。
质量流量：单位时间内流体流过管道横截面的质量 。易度质量流量控制器测量出的是标况流量，需要计算气体实际质量时，可用密度乘以标况流量即可得出。
瞬时流量：当时间很短时，流体流过一定截面的量称为瞬时流量。
累计流量：气体通过某一截面的瞬时流量在一定时间内的累积值。
设定流量：质量流量控制器专用术语，MFC通过控制比例调节阀的开度使得流体流量稳定在某一固定流量值，设定流量一般为标况流量。
PS：如果您也想了解MFC相关内容，记得找易度智能——压差式质量流量计和控制器技术引领者！国内首家层流质量流量计CPA证书认证企业！专注微小流量
的测控与技术！