易度MFC赋能CVD硅碳负极工艺革新
硅碳负极材料制备所使用的流化床设备，要求控制硅烷、乙炔、氮气、氩气等多种气体，需要确保硅烷或碳源气体与载气之间的比例恒定。易度MFC一台可切换多种气体，长期使用零漂小，控制快速稳定，已在硅碳负极材料制备设备中得到充分应用。自带电池的便携式流量计可方便地对设备中的MFC进行定期巡检。
泄漏率低 不易堵塞 -20℃~50℃可用 可在线校准
更多场景应用
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硅碳负极材料
金刚石材料
碳化硅材料
石墨烯材料
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服务优势
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原理优势
领先的层流原理，产品精度高、稳定性高、响应速度快
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技术优势
14年的技术积累，核心器件完全自主研发，定制性强，适应性宽
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应用优势
行业龙头客户长期批量使用，各种应用工况经验丰富
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服务优势
1小时及时响应，24小时方案呈现，货期短，服务灵活性强