P系列_气体质量流量计(MFM)_产品中心

产品规格

型号	P300	P400	P450
流量规格	0.5SCCM～5000SLPM	2SCCM～2000SLPM	2SCCM～2000SLPM
准确度	±1.0%Rd(20%~100%F.S.)； ±0.2%F.S.(1%~20%F.S.）	±1.0%Rd(10%～100%F.S.)； ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.)	±0.5%Rd(20%～100%F.S.)； ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.)
重复精度	±0.2%Rd(20%～100%F.S.); ±0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.)	±0.1%Rd(20%～100%F.S.); ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.)
压力漂移	≤±0.1%Rd/100kPa（基准压力100kPaA)
温度漂移	≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）
零点漂移	±0.1%F.S.
工作范围	0.5%～100%F.S.
响应时间	≤100ms
启动预热时间	≤1s
介质温度范围	-20℃～60℃
满量程压损	7kPa（≤20SLPM）;9kPa（50~100SLPM）;12kPa（200SLPM）; 17kPa（500SLPM）;20kPa（ 1000SLPM）;22kPa（1500~2500SLPM）;35kPa（3000~5000SLPM）
耐压	1.5 MPaA
最大工作压力	900kPaA
续航能力	15小时
安装方式	无指定（任意角度）
气路接口	G螺纹
接气部材质	SUS316L、氟橡胶
密封部材质	橡胶圈密封：氟橡胶
通信方式	RS485