S系列_气体质量流量计(MFM)_产品中心

产品规格

型号	S100	S200
流量规格	0.5SCCM～5000SLPM	0.5SCCM～2000SLPM
准确度	±1.0%Rd(20%~100%F.S.） ±0.2%F.S.(1%~20%F.S.）	±0.5%Rd(20%~100%F.S.） ±0.1%F.S.(1%~20%F.S.）
重复精度	±0.2%F.S.
压力漂移	Zero：≤±0.2%F.S./100KPa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa(基准压力100KPaA)	Zero：≤±0.05%F.S./100KPa； Span：≤±0.05%F.S./100Kpa(基准压力100KPaA)
温度漂移	Zero：≤±0.05%F.S./℃； Span：≤±0.05%F.S./℃（基准温度25℃）	Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）
工作范围	1%～100%F.S.
响应时间	≤100ms
启动预热时间	≤1s
介质温度范围	-20℃～60℃
满量程压损	4kPa（≤5SLPM）; 8kPa（10~500SLPM）; 15kPa（1000~5000SLPM）
耐压	1.5 MPaA
工作压力范围	60kPaA~1MPaA
供电电压	24VDC(±20%)
安装方式	无指定（任意角度）
气路接口	G螺纹
接气部材质	SUS316L
密封部材质	橡胶圈密封：氟橡胶
通信方式	RS485, 0～5V, 4～20mA