易度MFC助力半导体行业解决各类复杂测控需求
光刻机的气路系统中，MFC是核心控制部件，高纯压缩空气或惰性气体通过MFC精确控制后进入光刻机，对特定部位的温度精确控制，确保双工件台的超高运动精度。
极快响应时间 洁净车间生产 极低压损 耐腐蚀
更多场景应用
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MOCVD
离子注入机
刻蚀机
光刻机
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服务优势
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原理优势
领先的层流原理，产品精度高、稳定性高、响应速度快
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技术优势
14年的技术积累，核心器件完全自主研发，定制性强，适应性宽
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应用优势
行业龙头客户长期批量使用，各种应用工况经验丰富
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服务优势
1小时及时响应，24小时方案呈现，货期短，服务灵活性强