EC系列_气体质量流量控制器(MFC)_产品中心

产品规格

型号	EC100	EC200	EC300	EC400	EC450
流量规格	20SCCM～500SLPM	10SCCM～500SLPM	0.5SCCM～5000SLPM	2SCCM～2000SLPM	2SCCM～2000SLPM
准确度	±1.0%F.S. (2%～100% F.S.)	±1.0%S.P.(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.)	±1.0%S.P.(20%～100%F.S. ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.)	±1.0%S.P.(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.)	±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.)
重复精度	±0.2%F.S.		±0.2%Rd(20%～100%F.S. ±0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.)	±0.1%Rd(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.)
压力漂移	≤±0.1%F.S./100kPa（基准压力100kPaA)		≤±0.1%Rd/100kPa（基准压力100kPaA)
温度漂移	≤±0.05%F.S./℃（基准温度25℃）		≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）
零点漂移	±0.2%F.S.		±0.1%F.S.
工作范围	2%～100%F.S.	1%～100%F.S.	0.5%～100%F.S.
响应时间	≤800ms		≤600ms
启动预热时间	≤1s
介质温度范围	0℃～50℃		-20℃～60℃
环境温度范围	0℃～50℃		-20℃～60℃
满量程压损	50kPa（≤5SLPM）；100kPa（10SLPM）；50kPa（20SLPM）； 200kPa（30~200SLPM）； 300kPa（500~1000SLPM）；400kPa（1500~2000SLPM）；450kPa（3000~5000SLPM）
耐压	1.5 MPaA
最大工作压力	600kPaA		900kPaA
漏率	≤1×10^-10 Pa·m³/s He
供电电压	24VDC(±20%)
安装方式	无指定（任意角度）
气路接口	G螺纹、VCR、卡套、IGS
接气部材质	SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
密封部材质	橡胶圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
通信方式	RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V