SC系列_气体质量流量控制器(MFC)_产品中心

产品规格

型号	SC100	SC200
流量规格	0.5SCCM～5000SLPM	0.5SCCM～2000SLPM
准确度	±1.0%S.P.(20%~100%F.S.） ±0.2%F.S.(1%~20%F.S.）	±0.5%S.P.(20%~100%F.S.） ±0.1%F.S.(1%~20%F.S.）
重复精度	±0.2%F.S.	±0.1%F.S.
压力漂移	Zero：≤±0.2%F.S./100KPa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa(基准压力100KPaA)	Zero：≤±0.05%F.S./100KPa； Span：≤±0.05%F.S./100Kpa(100KPaA)
温度漂移	Zero：≤±0.05%F.S./℃； Span：≤±0.05%F.S./℃（基准温度25℃）	Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）
工作范围	1%～100%F.S.
响应时间	≤700ms
启动预热时间	≤1s
介质温度范围	-20℃～60℃
耐压	1.5 MPaA
最小工作压差	100~500kPa（≤250SLPM）; 200~500kPa（>250SLPM）
供电电压	24VDC(±20%)
阀门类型	N/C常闭型
安装方式	无指定（任意角度）
气路接口	G螺纹
接气部材质	SUS316L
密封部材质	橡胶圈密封：氟橡胶
通信方式	RS485, 0～5V, 4～20mA