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流量规格
0.5SCCM~20SLPM -
准确度
±0.5~1.0%S.P. -
工作压力
5kPaA-2MPaA可选 -
介质温度
-50℃~80℃可选
产品规格
| 型号 | TC100 | TC300 | TC450 | ||
| 流量规格 | 20SCCM～20SLPM | 0.5SCCM～20SLPM | 2SCCM～20SLPM | ||
准确度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | ±1.0%S.P.(20%～100%F.S.) | ±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) | ||
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | ±0.2%S.P.(20%～100%F.S.) | ±0.1%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) | ||
压力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa（基准压力100kPaA) | ≤±0.1%S.P./100kPa（基准压力100kPaA) | |||
温度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃（基准温度25℃） | ≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃） | |||
| 零点漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范围 | 2%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | |||
| 响应时间 | ≤800ms | ≤600ms | |||
| 启动预热时间 | ≤1s | ||||
| 介质温度范围 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 阀门类型 | N/C常闭 | ||||
| 耐压 | 1.5 MPaA | ||||
| 最大工作压力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/s He | ||||
| 供电电压 | 24VDC(±20%) | ||||
| 消耗电流 | <150mA（＜3.6W） | ||||
| 安装方式 | 无指定（任意角度） | ||||
| 气路接口 | G螺纹、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接气部材质 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材质 | 橡胶圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
应用场景
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半导体设备
生物处理系统
分析仪器
燃料电池组泄漏测试
反应溅射
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