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流量规格
0.5SCCM～20SLPM -
准确度
±0.5~1.0%Rd -
工作压力
5kPaA~2MPaA可选 -
介质温度
-50℃~110℃可选
产品规格
| 型号 | T100 | T200 | T300 | T400 | T450 |
| 流量规格 | 20SCCM～20SLPM | 10SCCM～20SLPM | 0.5SCCM～20SLPM | 2SCCM～20SLPM | 2SCCM～20SLPM |
| 准确度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | 1.0%Rd(30%～100%F.S.) 0.3%F.S.(1%～30%F.S.) | 1.0%Rd(20%～100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) | 1.0%Rd(10%～100%F.S.) 0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.) | 0.5%Rd(20%～100%F.S.) 0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
| 重复精度 | ±0.2%F.S. | 0.2%Rd(20%～100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) | 0.1%Rd(20%～100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) | ||
| 压力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa 基准压力：100kPaA | ≤±0.1%Rd/100kPa 基准压力：100kPaA | |||
| 温度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基准温度：25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基准温度：25℃ | |||
| 零点漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范围 | 2%～100%F.S. | 1%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | ||
| 响应时间 | ≤100ms | ||||
| 启动预热时间 | ≤1s | ||||
| 介质温度范围 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 环境温度范围 | 0℃～50℃ | -20℃～50℃ | |||
满量程压损 | 10kPa（≤5SLPM）；6kPa（10SLPM）；8kPa（20SLPM） | ||||
| 耐压 | 1.5 MPaA | ||||
最大工作压力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/s He | ||||
| 供电电压 | 24V±20% | ||||
| 安装方式 | 无指定（任意角度） | ||||
| 气路接口 | G螺纹、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接气部材质 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材质 | 橡胶圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
应用场景
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分析仪器
半导体设备
生物处理系统
燃料电池组泄漏测试
反应溅射
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