2022-12
16质量流量计和质量流量控制器可测控的最小流量是多少？
气体质量流量计（简称：MFM）与质量流量控制器(简称：MFC)是指主要适用小微流量（从0.000001m³/小时到300m³/小时，对应管径从直径3mm到65mm）气体测量和控制的传感器和自动化设备。
按照原理分为层流压差原理和热式原理两种气体质量流量计和控制器。
层流压差原理图
MFM/MFC标准型号最小可测控量程为0.5SCCM
易度基于层流压差原理自主研发设计了气体质量流量计和质量流量控制器，只需检测气体压差、压力和温度，即可测控气体流量。易度气体质量流量计和质量流量控制器标准型号最小量程为0.5SCCM（更小量程可定制），0.5SCCM是标准状况下0.5ml/min（毫升每分钟），也就是500uL/min（微升每分钟），按正常量程比100:1来算，其实际测控范围是5uL/min~500uL/min。
最小测控流量5uL/min是什么概念？