最小流量:0.1SCCM 最大流量:5000SLPM
P系列便携式气体层流质量流量计在S系列气体层流质量流量计基础上增加可充电电池,可在无电源环境中使用,续航时间可达6~8小时,P系列便携式流量计提供实验室级精度,通过减少您的停机时间,减少可能造成的工艺过程干扰。零下20~60℃的介质温度范围和0~98%的湿度范围内实现多种气体的即时接通和实时读数。
型 号 |
PIPG-P101 PIPG-P201 |
PIPG-P102 PIPG-P202 |
PIPG-P120 PIPG-P220 |
PIPG-P150 PIPG-P250 |
流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、2000、 3000、4000、5000SLPM |
性能指标 |
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准 确 度 |
P100:±1.0%Rd(20%~100%量程范围)或 ±0.2%F.S.(≤20%量程范围) (Rd-读数 F.S.-满量程)
P100-WR:±1.0%Rd(10%~100%量程范围)或 ±0.1%F.S.(≤10%量程范围) (Rd-读数 F.S.-满量程) |
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重复精度 |
P100:±0.2%F.S.
P100-WR:±0.2%F.S. |
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压力漂移 | Zero:≤±0.2%F.S./100kPa;Span:≤±0.2%F.S./100kPa(基准100kPa(绝压)) | |||
温度漂移 |
Zero:≤±0.02%F.S./℃;Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度25℃) |
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工作范围 |
1%~100%F.S.(最大可达120%F.S.) |
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响应时间 |
≤100ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
-20℃~60℃ |
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环境温度范围 | -20℃~50℃ | |||
使用湿度范围 |
0%~98%(无冷凝) |
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满量程压损 | 4kPa | |||
耐 压 |
1.5 MPa |
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工作压力范围 |
60kPa~1MPa |
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安装方式 |
无指定(任意角度) |
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接气部材质 |
SUS316L、航空铝材 |
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续航时间 |
6h |
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显示方式 |
彩色LCD触摸屏 |
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输出方式 |
标配:数字:RS485; 选配:模拟:0~5V/4~20mA |
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充电电源 |
(100~240)V AC |