S系列气体层流质量流量计
匹配科学工作者的质量流量计

最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

S系列气体层流质量流量计用于实时测量过程气体的流量,特有的层流压差技术及独创核心算法,内置的高精度压力、温度传感器实时补偿,产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量等特点,强大的触摸显示屏可显示实时压力、温度、工况流量、标况流量、累计流量,多气体触摸式切换,无须转化系数。

特征
  • 量程范围
    0.5sccm~5000slpm
    0.5sccm~5000slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    读数精度
    ±0.5%~±1.0%读数精度
  • 快速响应
    100ms
    无需预热
    100ms无需预热
  • 更改气体介质、调整混合气体比例
    触屏式操作
    修改部分参数信息
    触屏式操作修改部分参数信息
  • 高可靠性
    高抗过载、电磁干扰
    能力
    高抗过载、电磁干扰能力
  • 适用范围
    宽温度、压力
    宽温度、压力
  • 宽量程比
    100:1
    100:1
应用领域
实验室

高校、科研院所、企业实验室:实验、校准、测试实验装置和实验平台的传感器和标准表

流量校准

流量校准台的标准表、流量校准台的比对、量值传递、实验室设备的流量校准等

传统流量计的高级替代

转子流量计、玻璃管浮子流量计的更高性能替代

计量

稀有气体局部或整体系统流量使用量的监控、贸易结算等

技术参数
型      号

PIPG-S101

PIPG-S201

PIPG-S102

PIPG-S202

PIPG-S120 

PIPG-S220

PIPG-S150 

PIPG-S250

流量规格

0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

50、100、200 、

500、1000 、2000SCCM

5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500、1000、1500、

2000、3000、4000、5000SLPM

性能参数
准 确 度

±0.5%~1.0%RD(20%~100%量程范围)           或 ±0.2%F.S.(≤20%量程范围)(RD-读数 F.S.-满量程)

S100-WR:±1.0%RD (10%~100%量程范围) 或 ±0.1%F.S.(≤10%量程范围)(RD-读数 F.S.-满量程)

重复精度

±0.1%~0.2%F.S. 

压力漂移               Zero:≤±0.02%F.S./100Kpa;                    Span:≤±0.02%F.S./100Kpa(基准100KPa(绝压))
温度漂移 Zero:≤±0.02%F.S./℃                                Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度20℃)
工作范围 1%~100%F.S.(最大可达120%F.S.)
使用条件
介质温度范围 -20℃~60℃  
环境温度范围 -20℃~50℃
使用湿度范围 0%~98%(无冷凝)
满量程压损 4kPa
耐      压 1.5MPa
工作压力范围 60kPa~1MPa
供电电压 24V  ±20%
消耗电流 < 150mA(<3W)
安装方式 无指定(任意角度)
接气部材质 SUS304,SUS316L
显示方式 彩色LCD触摸屏
输出方式 标配:数字:RS485           选配:Profibus   模拟:(0~5)V/(4~20)mA;       
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