层流质量流量控制器 MASS FLOW CONTROLLER
易度-气体质量流量控制器

层流质量流量控制器【MASS FLOW CONTROLLER,简称MFC】基于内部补偿型层流压差专利技术,【专利号:ZL 2015 1 0610447.5】内置压力和温度传感器,能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异,并根据作为电信号发送的设定流量通过精密电磁比例调节阀自动控制气体流量,从而提供更加准确和稳定的流量测量和控制。当需要精确控制气体流量或建立自动化生产线时,层流质量流量控制器可作为不可缺少的设备在高校科研院所和广泛的工业过程自动化控制中使用。

结构和工作原理

层流质量流量控制器由层流元件、压力传感器、压差传感器、温度传感器、精密比例调节阀和电路部分组成。

  • 1
    气体由入口处进入

    经过层流元件将不规则的湍流状态规整为规则的层流运动状态

  • 2
    通过内置的压差传感器

    测得层流元件的两端压力差,转化为电信号,计算工况流量

  • 3
    通过温度传感器和压力传感器

    实时采集并修正补偿因温度和压力造成的波动,计算为标况体积流量,即质量流量;

  • 4
    比例调节阀修改流量

    使测得的质量流量与从外部流量设置信号接收到的流量之间的差为零;

  • 5
    这些单元具有回路

    因此即使发生二次压力或环境温度变化,可能会影响所引入气体的供应压力,流量也会立即得到校正,从而确保了稳定的流量控制。

性能优势
  • 设定值精度
    0.5~1.0级
    0.5~1.0级
  • 无需转换系数
    多气体、多量程
    51种气体、混气
    多气体、多量程51种气体、混气
  • 响应时间
    500ms以下
    无需预热
    500ms以下无需预热
  • 精确的
    压力和温度补偿
    压力和温度补偿
  • 可选择的
    触摸式显示屏、电池包
    触摸式显示屏、电池包
  • 符合GB/T标准
    抗电磁干扰性强
    抗电磁干扰性强
  • 坚固的
    金属外壳
    金属外壳
产品系列