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流量规格
0.5SCCM～20SLPM -
准确度
±0.5~1.0%Rd -
工作压力
5kPaA~2MPaA可选 -
介质温度
-50℃~110℃可选
产品规格
| 型号 | T100 | T300 | T450 | ||
| 流量规格 |
20SCCM～20SLPM |
0.5SCCM～20SLPM |
2SCCM～20SLPM |
||
| 准确度 |
±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) |
1.0%Rd(20%～100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
0.5%Rd(20%～100%F.S.)
0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
||
| 重复精度 |
±0.2%F.S. |
0.2%Rd(20%～100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
0.1%Rd(20%～100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) |
||
| 压力漂移 |
≤±0.1%F.S./100kPa 基准压力：100kPaA |
≤±0.1%Rd/100kPa 基准压力：100kPaA | |||
| 温度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基准温度：25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基准温度：25℃ | |||
| 零点漂移 |
±0.2%F.S. |
±0.1%F.S. |
|||
| 工作范围 |
2%～100%F.S. |
0.5%～100%F.S. |
|||
| 响应时间 |
≤100ms |
||||
| 启动预热时间 |
≤1s |
||||
| 介质温度范围 |
0℃～50℃ |
-20℃～60℃ |
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| 环境温度范围 |
0℃～50℃ |
-20℃～50℃ |
|||
|
满量程压损 |
10kPa（≤5SLPM）；6kPa（10SLPM）；8kPa（20SLPM） | ||||
| 耐压 |
1.5 MPaA |
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|
最大工作压力 |
900kPaA |
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| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m³/s He | ||||
| 供电电压 | 24V±20% | ||||
| 安装方式 | 无指定（任意角度） | ||||
| 气路接口 | G螺纹、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接气部材质 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材质 | 橡胶圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
应用场景
分析仪器
半导体设备
生物处理系统
燃料电池组泄漏测试
反应溅射
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