S系列气体层流质量流量计
匹配科学工作者的质量流量计
适合实验室使用
配备触摸式显示屏,型号多样
低至0.1SCCM,高达5000SLPM均可准确测量
层流质量流量计【LAMINAR MASS FLOW METER,简称MFM】基于内部补偿型层流压差专利技术【专利号:ZL 2015 1 0610446.0】,内置压力和温度传感器,能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异,可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。如您需要精确和快速测量气体流量、泄露率检测或作为标准表进行量值传递与校准等,可选用易度的流量计。
层流质量流量计由层流元件、压力传感器、压差传感器、温度传感器和电路部分组成。
经过层流元件将不规则的湍流状态规整为规则的层流运动状态
测得层流元件的两端压力差,转化为电信号,计算工况流量
实时采集并修正补偿因温度和压力造成的波动,计算为标况体积流量,即质量流量。