半导体行业

光刻机等关键过程工艺中气体的精准控制

新能源

燃料电池发动机测试平台中的超大流量测控

高校研究所/计量/实验室

前沿科学研究中的气体流量高精度测量和控制

生物医药

微生物和细胞培养中可靠稳定的气体定量补给

真空行业

CVD/流化床装置高重复性的气体流控的和多介质兼容

气密性测试

泄漏检测系统中的极微小流量测量

以自主创新技术
持续高性能流量计和控制器的研发

专注流量测控领域

从计量校准到实验室和分析技术,从光刻机到半导体行业,从氢能燃料电池到新能源行业,易度不断为高端制造行业客户提供高性能的质量流量计和控制产品,助力半导体、新能源、新材料、计量校准、气密性测试、生物制药、燃烧等高端制造业用户解决流体测控难题。

更多行业解决方案

产品中心

层流压差原理 | 高精度 | 高可靠性 | 宽适应性 | 宽量程 | 多通讯 | 多接口

易度专注流量测控领域,为客户提供稳定可靠、高性能的流量、压力测控产品。支持量程0.5SCCM~5000SLPM,压力5KPaA~2MPaA,温度-50~110℃,可实时切换70余种单一介质和混合工质,提供10余种数字/模拟通讯方式,目前已形成2000余种通用型层流压差流量计/控制器规格,可满足半导体、新能源、新材料等高端客户的各类流控需求。

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14年专注层流技术

10余年的基础研究与数据积累,5000+客户现场应用经验

40+行业应用

在半导体、新能源、新材料、分析仪器等40多个行业稳定使用

25000+技术难点突破

独创高精电磁比例阀,经3000万次疲劳测试控制能力无衰退

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