质量流量控制器在配气仪中的应用
易度
2021 / 12 / 27

气体质量流量控制器是配气仪中的核心部件,可提供精确、稳定的气体流量控制,让气体混合、稀释更便捷。

易度MC100标准型质量流量控制器采用层流压差式原理,具有高可靠、高稳定、高精度和高重复性的优势,同时在抗过载能力和抗污染能力上表现优越,助力配气仪厂商实现更精准的气体浓度混合配比。

 

应用要求:

配气仪的气体配比通常为100:1等,常见的有两路甚至更多,一般两路为一路标气,一路稀释气体。要实现精准配气,需要流量控制器在各流量点控制气体准确度高,重复性好,同时对压力波动不敏感。

 

常见配气仪气体配比图

 

主要问题:

1、控制稳定:配气仪受前端压力波动影响大,影响流量稳定性,要求流量控制器具有高稳定性,减少压力波动影响;

2、无漏气:要求流量控制器内置的比例调节阀流量为零时,要处于常闭状态,阀门不漏气,无流量;

3、抗污染能力:配气仪介质用到腐蚀性气体,造成流量控制器流道易堵塞,堵塞与流道管径的粗细直接相关;

4、抗过载能力:配气仪控制气体从低流量点切换到高流量点时,受到瞬间大流量冲击,抗过载能力弱会直接影响流量控制器的使用寿命。

 

解决方案:

1、高稳定性:易度流量控制器内置高精度压力、温度传感器,可进行温度、压力的实时补偿,700ms的快速响应时间,快速纠正、保持气体控制的流速恒定,提供稳定的气体流量控制;

2、无漏气:易度流量控制器内置的比例调节阀系自主研发,结构紧凑,密封性好,不漏气,无流量;

3、抗污染能力强:易度流量控制器气体流道为单通道设计,流道管径相对较粗,不易受到气体的污染,造成堵塞;

4、抗过载能力高:易度流量控制器内置的压差传感器,可承受50倍及以上的过载流量,抗过载能力强,解决配气仪低流量段瞬间过载问题。

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