最小流量：0.1SCCM 最大流量：500SLPM
SC200高精型气体层流质量流量控制器向对控制精度有更高需求的客户提供计量级的精度等级（±0.5%设定值精度），通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了更高性能。同时，内置4种标况温度（0℃、15℃、20℃、25℃）可供选择，并实时显示温度、压力、标况流量、工况流量。
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-SC202-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-SC202-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-SC202-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-SC202-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-SC202-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-SC202-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-SC220-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-SC220-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-SC220-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-SC220-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-SC220-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-SC220-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-SC250-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-SC250-02-1000 | 1000 SLPM
PIPG-SC250-02-1500 | 1500 SLPM
PIPG-SC250-02-2000 | 2000 SLPM
PIPG-SC250-02-3000 | 3000 SLPM
PIPG-SC250-02-4000 | 4000 SLPM
PIPG-SC250-02-5000 | 5000 SLPM
PIPG-SC201-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-SC201-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-SC201-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-SC201-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-SC201-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-SC201-01-0020 | 20 SCCM
