MC100标准型
可选数字或模拟信号,成本低、快速、稳定控制气体流量

最小流量:0.5SCCM     最大流量:5000SLPM

MC100标准型气体层流质量流量控制器是一款性价比极高的质量流量控制器,尽管成本较低,但同样采用层流压差式原理,和内置压力、温度传感器的精确补偿,有数字信号RS485款和模拟信号(0~5)V款可供选择,精度可达±1.0%满量程,具有高重复性、自动测量控制和宽温度压力适用范围等特点。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
  • 精度
    ±1.0%
    设定值精度
    ±1.0%设定值精度
  • 高重复性
    ±0.2%
    F.S.
    ±0.2%F.S.
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、1Mpa
    以内
    -20℃~60℃、1Mpa以内
  • 可选模拟信号、数字信号
    (0~5)V、RS485
    传输方式方式
    (0~5)V、RS485传输方式方式
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
使用条件
兼容内置
43种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
1%~120%F.S.
Working flow range
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
环境温度
-20℃~60℃
Ambient temperature
使用湿度
0% ~98%(无冷凝)
Operating humidity
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
供电电压
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗电流
<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
Current consumption
安装方式
无指定(任意角度)
Installation method
规格型号
应用领域
镀膜设备

溅射镀膜设备中的流控器件

光伏设备

光伏行业集成设备中的流控器件

热喷涂设备

热喷涂过程的流量控制