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SC100-WR宽量程型
更宽量程范围内保证产品精度

最小流量：0.1SCCM     最大流量：500SLPM

SC100-WR宽量程气体层流质量流量控制器在SC100标准型层流质量流量控制器的基础上提高2倍的可精确测量范围，实现在10%~100%的量程范围内达到1%设定值精度，并通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法，在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时，内置多种气体和混气设置，触屏式操作的自由切换，有效简化了系统的复杂度，减少客户采购成本，提高系统的稳定度。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
  • 保证精度的流量范围
    10%~100%
    F.S.
    10%~100%F.S.
  • 高精度
    ±1.0%
    设定值精度
    ±1.0%设定值精度
  • 高重复性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 自由切换更改气体介质、
    触屏点击输入设定流量
    调整混合气体比例和修改部分参数信息
    触屏点击输入设定流量调整混合气体比例和修改部分参数信息
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、1Mpa
    以内
    -20℃~60℃、1Mpa以内
  • 可切换
    流量计模式
    使用
    流量计模式使用
  • 实时显示
    4种
    过程变量
    4种过程变量
  • 内置
    51种
    气体和混气测量
    51种气体和混气测量
使用条件
兼容内置
51种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
1%~120%F.S.
Working flow range
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
环境温度
-20℃~50℃
Ambient temperature
使用湿度
0%~98%（无冷凝）
Operating humidity
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
供电电压
﹢（18~30）VDC
Supply voltage
消耗电流
＜150mA (供电电压为24v时)＜300mA（＜5V）
Current consumption
安装方式
无指定（任意角度）
Installation method
资源 5
资源 5
规格型号
PIPG-SC101-WR（微流量）

PIPG-SC101-WR-00-0500  |  0.5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0001  |  1 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0002  |  2 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0005  |  5 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0010  |  10 SCCM
PIPG-SC101-WR-01-0020  |  20 SCCM

应用领域
系统搭建

标定台系统搭建中的流量控制设备

设备集成

需要大范围调整流量的流控系统或设备集成

简化集成

为简化集成设备或对设备体积比较敏感的客户

实验研究

需要调控比较大流量范围的实验研究场合

资源 5
资源 5
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