最小流量:0.1SCCM 最大流量:500SLPM
S100-PL/PLG低(极低)压损气体层流质量流量计系列产品满量程压损最低可至400Pa,低压损可最大程度减少气路系统造成的波动影响,可在接近大气压的压力下或在可用系统压力很小的情况下进行流量测量,保证流量测量更加准确和稳定。
PIPG-S101-PL/PLG-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0020 | 20 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-0050 | 50 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-0100 | 100 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-0200 | 200 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-0500 | 500 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-1000 | 1000 SCCM
PIPG-S102-PL/PLG-01-2000 | 2000 SCCM
PIPG-S120-PL/PLG-02-0005 | 5 SLPM
PIPG-S120-PL/PLG-02-0010 | 10 SLPM
PIPG-S120-PL/PLG-02-0020 | 20 SLPM
PIPG-S120-PL/PLG-02-0050 | 50 SLPM
PIPG-S120-PL/PLG-02-0100 | 100 SLPM
PIPG-S120-PL-02-0200 | 200 SLPM
PIPG-S150-PLG-02-0250 | 250 SLPM
PIPG-S150-PL-02-0500 | 500 SLPM
PIPG-S101-PL/PLG-00-0500 | 0.5 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0001 | 1 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0002 | 2 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0005 | 5 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0010 | 10 SCCM
PIPG-S101-PL/PLG-01-0020 | 20 SCCM