MC系列层流质量流量控制器
高品质配套过程控制的质量流量控制器

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

MC系列层流质量流量控制器与SC系列层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏,基于压力式的层流压差技术,不受制于来流状态的影响,配合高精度压力、温度传感器实现精确压力、温度补偿,使得产品在较宽的温度、压力范围内迅速达到流量设定值,保障了测量的精度和控制的稳定性。模拟信号和数字信号的通讯方式,适用于配套过程控制的客户。

特征
  • 量程范围
    0.5sccm~500slpm
    0.5sccm~500slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±1.0%
    设定值精度
    ±1.0%设定值精度
  • 快速响应
    500ms以下
    无需预热
    500ms以下无需预热
  • 可选模拟信号、数字信号
    (4~20)mA、RS485
    传输方式
    (4~20)mA、RS485传输方式
  • 提供
    上位机软件
    进行数据采集和下载
    上位机软件进行数据采集和下载
  • 适用范围
    宽温度、压力
    宽温度、压力
  • 高可靠性
    高抗过载、抗电磁干扰
    能力
    高抗过载、抗电磁干扰能力
  • 宽量程比
    100:1
    100:1
应用领域
流控系统

高端制造设备中流控系统的集成和配套

配气

精细化工生产线中的流控器件

精细化工

生物反应器成套设备中的流控器件

分析仪器

配气系统或装置中的流控器件

生物反应器

分析仪器、科学仪器中的流控器件

自动化设备

定制化成套自动化设备中的流控器件

技术参数

型     号

PIG-MC201

PIG-MC102

PIG-MC202

PIG-MC120

PIG-MC220

PIG-MC250

流量规格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500SLPM

阀门种类

N/C(常闭型)

性能指标

准 确 度

MC100:±1%F.S.(滿量程)(1%~100%量程范围)、精度保证范围(-20℃~60℃)

MC200:±1%S.P.(设定值)(20%~100%量程范围)、±0.2%F.S.(满量程)(1%~20%量程范围)、

精度保证范围(-20℃~60℃)

MC200-WR宽量程型:±1%S.P.(设定值)(10%~100%量程范围)、±0.1%F.S.(满量程)(1%~10%量程范围)、

精度保证范围(-20℃~60℃)

重复精度

±0.2%F.S.

温度漂移

MC100:Zero:≤±0.05%F.S./℃;Span:≤±0.05%F.S./℃(基准温度20℃)

MC200:Zero:≤±0.01%F.S./℃;Span:≤±0.01%F.S./℃(基准温度20℃)

工作范围

1%~100%F.S.(最大可达120%F.S.)

响应时间

MC100:≤800ms

MC200:≤500ms

启动预热时间

≤1s

使用条件

使用温度范围

-20℃~60℃

使用湿度范围

0%~98%(无冷凝)

耐     压

1.5MPa

最大工作压力

1MPa

供电电压

+(18~30)VDC

消耗电流

< 300mA(<5W)

安装方式

无指定(任意角度)

接气部材质

SUS316L

密封部材质

橡胶圈密封:氟橡胶

通信方式

模拟:(0~5 )VDC/数字:RS485(可定制)

尺寸图
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