最小流量:0.1SCCM 最大流量:5000SLPM
MC系列层流质量流量控制器与SC系列层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏,基于压力式的层流压差技术,不受制于来流状态的影响,配合高精度压力、温度传感器实现精确压力、温度补偿,使得产品在较宽的温度、压力范围内迅速达到流量设定值,保障了测量的精度和控制的稳定性。模拟信号和数字信号的通讯方式,适用于配套过程控制的客户。
型 号 |
PIPG-MC101 PIPG-MC201 |
PIPG-MC102 PIPG-MC202 |
PIPG-MC120 PIPG-MC220 |
PIPG-MC150 PIPG-MC250 |
流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500 、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、2000、 3000、4000、5000 SLPM |
阀门种类 |
N/C(常闭型) |
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性能指标 |
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准 确 度 |
MC100:±1.0%S.P.(设定值)(20%~100%量程范围) ,±0.2%F.S.(满量程)(1%~20%量程范围)、精度最大范围(-20℃~60℃)
MC200:±0.5%S.P.(设定值)(20%~100%量程范围) ,±0.1%F.S.(满量程)(1%~20%量程范围)、精度最大范围(-20℃~60℃) |
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重复精度 |
MC100:±0.2%F.S.
MC100-WR:±0.2%F.S. |
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压力漂移 | Zero:≤±0.2%F.S./100kPa;Span:≤±0.2%F.S./100kPa(基准100kPa(绝压)) | |||
温度漂移 |
Zero:≤±0.02%F.S./℃;Span:≤±0.02%F.S./℃(基准温度25℃) |
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工作范围 |
1%~100%F.S. |
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响应时间 |
≤700ms |
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启动预热时间 |
≤1s |
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使用条件 |
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介质温度范围 |
-20℃~60℃ |
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环境温度范围 | -20℃~50℃ | |||
使用湿度范围 |
0%~98%(无冷凝) |
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工作压差范围 | 100kPa~700kPa | |||
耐 压 |
1.5MPa |
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最大工作压力 |
1MPa |
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供电电压 |
24V±20% |
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消耗电流 |
< 500mA(<12W) |
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安装方式 |
无指定(任意角度) |
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接气部材质 |
SUS316L |
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密封部材质 |
橡胶圈密封:氟橡胶 |
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通信方式 |
标配:数字:RS485; 选配:PROFIBUS 模拟:0~5 V/4~20mA |