EMC经济型
可选数字或模拟信号,成本低、快速、稳定控制气体流量

最小流量:20SCCM     最大流量:250SLPM

EMC经济型气体层流质量流量控制器是一款性价比极高的质量流量控制器,尽管成本较低,但同样采用层流压差式原理,和内置压力、温度传感器的精确补偿,有数字信号RS485款和模拟信号(0~5)V/(4~20)mA款可供选择,精度可达±1.0%满量程,具有高重复性、自动测量控制和宽温度压力适用范围等特点。

特征
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
  • 可选模拟信号、数字信号
    (4~20)mA/(0~5)V、RS485
    传输方式
    (4~20)mA/(0~5)V、RS485传输方式
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、1Mpa
    以内
    -20℃~60℃、1Mpa以内
  • 高重复性
    ±0.2%
    F.S.
    ±0.2%F.S.
  • 精度
    ±1.0%
    满量程精度
    ±1.0%满量程精度
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
使用条件
安装方式
无指定(任意角度)
Installation method
消耗电流
<500mA (供电电压为24v时)(<12V)
Current consumption
供电电压
24V ± 20%
Supply voltage
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
使用湿度
0% ~98%(无冷凝)
Operating humidity
环境温度
-20℃~60℃
Ambient temperature
介质温度
-20℃~50℃
Medium temperature
工作流量范围
1%~100%F.S.
Working flow range
兼容内置
49种气体和可编辑的混合气体
Compatible
规格型号
应用领域
实验装置

混气实验和配气装置

镀膜设备

溅射镀膜设备中的流控器件

热喷涂设备

热喷涂过程的流量控制

光伏设备

光伏行业集成设备中的流控器件