M100-WR宽量程型
更宽量程范围内保证产品精度

最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

M100-WR宽量程气体层流质量流量计在M100标准型气体层流质量流量计的基础上提高2倍的可精确测量范围,实现在10%~100%的量程范围内达到1%读数精度,并通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时,内置多种气体和混气设置,有效简化了系统的复杂度,减少客户采购成本,提高系统的稳定度。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量计
    层流压差式流量计
  • 保证精度的流量范围
    10%~100%
    F.S.
    10%~100%F.S.
  • 高精度
    ±1.0%
    读数精度
    ±1.0%读数精度
  • 高重复性
    ±0.2%
    F.S.
    ±0.2%F.S.
  • 兼容数字信号、模拟信号
    (4~20)mA和RS485
    传输方式
    (4~20)mA和RS485传输方式
  • 内置
    43种
    气体和混气测量
    43种气体和混气测量
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
使用条件
兼容内置
43种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
1%~120%F.S.
Working flow range
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
环境温度
-20℃~60℃
Ambient temperature
使用湿度
0%~98%(无冷凝)
Operating humidity
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
供电电压
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗电流
<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
Current consumption
安装方式
无指定(任意角度)
Installation method
规格型号
应用领域
标准表

标定台系统搭建中的标准表

系统设备集成

需要大范围调整流量的流控系统或设备集成

简化集成

为简化集成设备或对设备体积比较敏感的客户

实验研究

需要调控比较大流量范围的实验研究场合