最小流量:10 SCCM 最大流量:500 SLPM
E200气体层流质量流量计与在原有的M100系列做了产品的升级,通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量。
E200A 通用型 | 10 SCCM ~ 500 SLPM