M系列气体层流质量流量计
高品质配套过程测量的质量流量计

最小流量:0.1SCCM     最大流量:5000SLPM

M系列气体层流质量流量计与S系列的区别在于没有触摸式显示屏,特有的层流压差技术,配合高精度压力、温度传感器实现的补偿,及独创核心算法,使得产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量的特点,模拟信号和数字信号的通讯方式,适用于配套过程控制的客户。

特征
  • 量程范围
    0.5sccm~5000slpm
    0.5sccm~5000slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    读数精度
    ±0.5%~±1.0%读数精度
  • 快速响应
    100ms
    无需预热
    100ms无需预热
  • 传输方式
    4~20mA和RS485
    兼容数字信号、模拟信号
    4~20mA和RS485兼容数字信号、模拟信号
  • 提供
    上位机软件
    进行数据采集和下载
    上位机软件进行数据采集和下载
  • 适用范围
    宽温度、压力
    宽温度、压力
  • 高可靠性
    高抗过载、抗电磁干扰
    能力
    高抗过载、抗电磁干扰能力
  • 宽量程比
    100:1
    100:1
应用领域
设备配套

流量型检漏设备配套

消耗测量

用于内部会计目的的气体分配系统中的气体消耗测量

密封性测试

快速密封性测试

流量监控

食品、化工等行业的气体流量监控

技术参数

型     号

PIG-M101

PIG-M201

PIG-M102

PIG-M202

PIG-M120

PIG-M220

PIG-M150

PIG-M250

流量规格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500、1000、1500、

2000、3000、4000、5000SLPM

性能参数

准 确 度

M100:±1%RD(20%~100%量程范围)或 ±0.2%F.S.(≤20%量程范围)(RD-读数 F.S.-满量程)

M200:±0.5%RD(20%~100%量程范围)或 ±0.1%F.S.(≤20%量程范围)(RD-读数 F.S.-满量程)

M100-WR宽量程型:±1%RD(10%~100%量程范围)或 ±0.1%F.S.(≤10%量程范围)(RD-读数 F.S.-满量程)

重复精度

±0.2%F.S.

温度漂移

M100:Zero:≤±0.05%F.S./℃;Span:≤±0.05%F.S./℃(基准温度20℃)

M200:Zero:≤±0.01%F.S./℃;Span:≤±0.01%F.S./℃(基准温度20℃)

工作范围

1%~100%F.S.(最大可达120%F.S.)

响应时间

≤100ms

启动预热时间

≤1s

使用条件

使用温度范围

-20℃~60℃

使用湿度范围

0%~98%(无冷凝)

耐     压

1.5MPa

最大工作压力

1MPa

 供电电压

+(18~30)VDC

消耗电流

< 150mA(<3W)

安装方式

无指定(任意角度)

接气部材质

SUS316L

输出方式

模拟:(4~20)mA;数字:RS485

尺寸图
更多资料
产品系列