SC系列层流质量流量控制器
适用大多数实验室的标准型流量控制器

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

SC系列层流质量流量控制器用于实时控制过程气体的流量,特有的层流压差技术,配合高精度压力、温度传感器实现的补偿,及独创核心算法,使得产品具有高精度、高重复性、低零点、温度、压力漂移量的特点,强大的触摸显示屏可直接输入设定流量,显示实时压力、温度、工况流量、标况流量,流量计和控制器模式随意切换,多气体、多量程,无须转化系数。

特征
  • 量程范围
    0.5sccm~500slpm
    0.5sccm~500slpm
  • 高精度(可溯源)
    ±0.5%~±1.0%
    设定值精度
    ±0.5%~±1.0%设定值精度
  • 快速响应
    500ms以下
    无需预热
    500ms以下无需预热
  • 自由切换更改气体介质
    触屏点击输入设定流量
    调整混合气体比例和修改部分参数信息
    触屏点击输入设定流量调整混合气体比例和修改部分参数信息
  • 适用范围
    宽温度、压力
    宽温度、压力
  • 高可靠性
    高抗过载、抗电磁干扰
    能力
    高抗过载、抗电磁干扰能力
  • 宽量程比
    100:1
    100:1
  • 可切换
    流量计模式
    使用
    流量计模式使用
应用领域
实验室

高校、科研院所、企业实验室:需要气体流量控制的场景

技术参数

型     号

PIG-SC101

PIG-SC201

PIG-SC102

PIG-SC202

PIG-SC120

PIG-SC220

PIG-SC150

PIG-SC250

流量规格

  0.5、1、2 、

5 、10、20SCCM

  50、100、200 、

500 、1000 、2000SCCM

  5、10 、20 、

50 、100 、200 SLPM

500SLPM

阀门种类

N/C(常闭型)

性能指标

准 确 度

SC100:±1%S.P.(设定值)(20%~100%量程范围)、±0.2%F.S.(满量程)(1%~20%量程范围)、

精度保证范围(-20℃~60℃)

SC200:±0.5%S.P.(设定值)(20%~100%量程范围)、±0.1%F.S.(满量程)(1%~20%量程范围)、

精度保证范围(-20℃~60℃)

SC100-WR宽量程型:±1%S.P.(设定值)(10%~100%量程范围)、±0.1%F.S.(满量程)(1%~10%量程范围)、

精度保证范围(-20℃~60℃)

重复精度

±0.2%F.S.

温度漂移

Zero:≤±0.01%F.S./℃;             Span:≤±0.01%F.S./℃(基准温度20℃)

工作范围

1%~100%F.S.(最大可达120%F.S.)

响应时间

≤500ms

启动预热时间

≤1s

使用条件

使用温度范围

-20℃~60℃

使用湿度范围

0%~98%(无冷凝)

耐     压

1.5MPa

最大工作压力

1MPa

供电电压

+(18~30)VDC

消耗电流

< 300mA(<5W)

安装方式

无指定(任意角度)

接气部材质

SUS316L

密封部材质

橡胶圈密封:氟橡胶

显示方式

彩色LCD触摸屏

通信方式

模拟:(0~5 )VDC;数字:RS485

尺寸图
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