MC200高精型
对控制精度、重复性有更高要求的行业配套客户首选

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

MC200高精型气体层流质量流量控制器向对更高控制精度有需求的工业配套用户提供计量级精度0.5级(±0.5%设定值精度),通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。坚固的金属外壳,使产品在工业复杂环境下确保耐用性和强抗电磁干扰性能。内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量和控制。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
  • 高精度
    ±0.5%
    设定值精度
    ±0.5%设定值精度
  • 高重复性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、1Mpa
    以内
    -20℃~60℃、1Mpa以内
  • 可选模拟信号、数字信号
    (0~5)V、RS485
    传输方式
    (0~5)V、RS485传输方式
  • 内置
    51种
    气体和混气测量
    51种气体和混气测量
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
使用条件
兼容
内置51种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
1%~120%F.S.
Working flow range
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
环境温度
-20℃~50℃
Ambient temperature
使用湿度
0%~98%(无冷凝)
Operating humidity
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
供电电压
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗电流
<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
Current consumption
无指定(任意角度)
安装方式
Installation method
规格型号
应用领域
镀膜设备

光学、原子镀膜设备中的流控器件

配套设备

高端制造设备中流控系统的集成和配套

流控器件

精细化工生产线中的流控器件

生物反应器

生物反应器成套设备中的流控器件

配气装置

配气系统或装置中的流控器件

分析仪器

分析仪器、科学仪器中的流控器件

定制化设备

定制化成套自动化设备中的流控器件