MC200高精型
对控制精度、重复性有更高要求的行业配套客户首选

最小流量:0.1SCCM     最大流量:500SLPM

MC200高精型气体层流质量流量控制器与SC200高精型型气体层流质量流量控制器的区别在于没有触摸式显示屏,通过产品内置的压力、温度传感器的精确补偿及独创核心算法,在低零点、温度、压力漂移量上表现出了杰出性能。坚固的金属外壳,使产品在工业复杂环境下确保耐用性和强抗电磁干扰性能,同时,内置多种气体和混气设置,数字式和模拟式的通讯方式,实现流量的精确测量和控制。

特征
  • 原理
    层流压差式
    流量控制器
    层流压差式流量控制器
  • 高精度
    ±0.5%
    设定值精度
    ±0.5%设定值精度
  • 高重复性
    ±0.1%
    F.S.
    ±0.1%F.S.
  • 宽温度、压力适用范围
    -20℃~60℃、1Mpa
    以内
    -20℃~60℃、1Mpa以内
  • 可选模拟信号、数字信号
    (0~5)V、RS485
    传输方式
    (0~5)V、RS485传输方式
  • 内置
    49种
    气体和混气测量
    49种气体和混气测量
  • 提供
    上位机软件
    实时显示和下载数据信息
    上位机软件实时显示和下载数据信息
使用条件
兼容
内置49种气体和可编辑的混合气体
Compatible
工作流量范围
1%~120%F.S.
Working flow range
介质温度
-20℃~60℃
Medium temperature
环境温度
-20℃~60℃
Ambient temperature
使用湿度
0%~98%(无冷凝)
Operating humidity
最大工作压力
1Mpa
Working pressure
耐压
1.5Mpa
Withstand voltage
供电电压
﹢(18~30)VDC
Supply voltage
消耗电流
<150mA (供电电压为24v时) <300mA(<5V)
Current consumption
无指定(任意角度)
安装方式
Installation method
规格型号
应用领域
镀膜设备

光学、原子镀膜设备中的流控器件

配套设备

高端制造设备中流控系统的集成和配套

流控器件

精细化工生产线中的流控器件

生物反应器

生物反应器成套设备中的流控器件

配气装置

配气系统或装置中的流控器件

分析仪器

分析仪器、科学仪器中的流控器件

定制化设备

定制化成套自动化设备中的流控器件