气密性测试是产品质量控制的重要环节，小到一部手机、一个药瓶，大到汽车发动机甚至航空航天关键设备，能否有效密封都关系到产品性能甚至安全性。1986年美国挑战者号航天飞机在起飞后73秒就发生爆炸，导致七名宇航员不幸遇难，事后查明原因仅仅是因为右侧助推器一个O型密封圈失效导致燃料泄漏。如果事先对该密封部位进行细致的气密性测试则可很大程度上避免灾难的发生。可见，气密性测试在诸多行业中都显得尤为重要。

挑战者号航天飞机空难

     气密性测试通常有压差法、流量法和氦检三种。压差法技术难度较低同时效果也一般；流量法对管路设计有较高要求；氦检精度高，但造价昂贵。德国著名的普发真空主流的气密性测试设备采用的就是流量法和氦检。其中流量法的核心部件就是高性能气体质量流量计。

     流量法检漏设备根据被测产品性质不同分为质量流量检漏仪和真空检漏仪。

     质量流量检漏仪

质量流量检漏仪原理图

     将被测产品放入一定容腔内，通过压力源经充气排气阀给容腔充气使压力达到一定值，关闭充气排气阀，切换流量选择阀，使流量计一端接压力源，一端接被测产品，此时流量计两端应处于压力平衡状态，流量为0。如果被测产品有泄漏，流量计右侧压力会降低，气体在压力源的压力下产生流动，流量计产生读数，当读数超过一定值时可判定为被测产品不合格。

     真空检漏仪

真空检漏仪原理图

     将被测产品放入一定容腔内，通过真空泵经流量隔离阀将检测容腔抽至所需的负压状态，关闭流量隔离阀，此时流量计两端均处于负压平衡状态，流量为0。如果被测产品有泄漏，

检测容腔内压力升高，气体从检测容腔经过流量计流向真空容器，流量计产生读数，当读数超过一定值时可判定为被测产品不合格。

     应用在这两种场景下的流量计推必须具备以下特点：

     ♦ 极快的流量响应速度；

     ♦ 流量测量的高精度、高灵敏性；

     ♦ 宽量程比，在全量程段上性能优异；

     ♦ 能够测微小流量；

     ♦ 良好的稳定性、重复性；

     ♦ 较宽的温度和压力适用范围；

     ♦ 较低的压力损失。

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